この装置は、接着剤塗布前のウェーハの前処理に適しています。このシステムは、チャンバー、真空システム、加熱システム、窒素パージ システム、液体分注システム、および制御システムで構成されます。複数の真空サイクルと 150 °C の高温窒素による加熱を通じて、この装置はウェーハ表面を効果的に乾燥および洗浄し、酸化や不純物の拡散を防ぎます。 液体ディスペンスシステムは、ウェハ表面に HDMS 保護フィルムを適用することもできるため、優れた接着剤塗布特性が得られます。手動の HMDS コーティングと比較して、このシステムには、良好な再現性、化学物質の消費量の削減、環境への優しさ、人間の健康に対する安全性などの大きな利点があります。他のプロセスのウェーハの洗浄にも使用できます。制御方式にはPLCを、マンマシンインターフェースにはタッチスクリーンを採用し、高い信頼性と簡単な操作性、直感的な制御を実現しています。
半導体（チップ/集積回路）製造プロセスにおいて、フォトリソグラフィーは集積回路パターン転写における重要なステップです。フォトレジストコーティングの品質はフォトリソグラフィーの品質に直接影響するため、コーティングプロセスは特に重要です。フォトリソグラフィーで使用されるほとんどのフォトレジストは疎水性ですが、シリコンウェーハ表面のヒドロキシル基と残留水分子は親水性です。これにより、特にポジ型フォトレジストの場合、フォトレジストとシリコンウェーハの間の接着力が低下します。現像中、現像液がフォトレジストとシリコンウェハの界面に浸透し、フォトレジストの剥がれや浮きなどの現象が起こりやすく、フォトリソグラフィーによるパターン転写の失敗につながります。同時に、ウェットエッチングでは横方向のエッチングが起こりやすくなります。 HMDS前処理システムによる前処理後、基板表面にシロキサン系化合物をコーティングします。ウェーハ表面は親水性から疎水性に変化し、接触角が減少し、必要なフォトレジストの量が減少し、フォトレジストへの密着性が向上します。これにより、現像プロセス中の横方向のエッチングやパターンのドリフトが抑制され、フォトレジストの密着性が向上し、過酷な環境における材料の耐食性が向上するため、製品の品質が大幅に向上し、欠陥率が減少します。
プロセスの目的:
装置はPLC制御により全自動で動作します。 このプロセスには、表面の水分を除去するための基板の高温ベーキングと、真空乾燥および窒素保護技術を組み合わせてウェーハ表面から水分や汚染物質を除去し、酸化や不純物の拡散を防ぎ、コーティング前の清浄度を確保することが含まれます。次に、HMDS (ヘキサメチルジシラザン C6H19NSi2) ガスが導入されます。高温下では、基板表面と HMDS が完全に反応し、シロキサンを主成分とする化合物が形成されます。これにより基板表面が親水性から疎水性に変化し、疎水性基がフォトレジストとよく結合し、カップリング剤として機能します。
プロセスフロー:
まず、真空ポンプをオンにして真空引きを開始します。チャンバー内の真空レベルが設定値 (この値は真空計の P2 値を変更することで設定できます。真空計のマニュアルを参照してください) に達すると、窒素が導入されます。設定真空度（真空計のP1値を変更することで設定可能）に達した後、真空引きと窒素導入のプロセスを繰り返します。設定した窒素導入回数に達した後、再び真空引きを開始し、続いて薬液を導入します。設定時間が経過すると薬液の導入が停止し、保持フェーズが始まります。設定された保持時間の後、真空引きと窒素導入が再び開始され、設定されたサイクル数になります。システムがプロセスを自動的に完了すると、音と視覚によるアラームが発せられ、ウェーハを取り出す準備ができていることが示されます。
① アウターシェル材質：厳選された高品質冷間圧延鋼板（Q235）をCNCマシニングにより精密成形。表面はリン酸塩処理および帯電防止粉体塗装で処理され、堅牢なシェルを作成します。帯電防止、耐腐食性、耐傷性があり、品質が長持ちします。
② 内側チャンバー: 内側チャンバーは 304 ブラッシュステンレス鋼で作られており、材料認証済み (材料レポートが利用可能)、耐食性があり、掃除が簡単です。
③ コントロールパネル: ハイエンドカラータッチスクリーンコントローラ、温度や時間などの主要パラメータをリアルタイムで表示します。インテリジェントな障害およびアラーム情報プロンプトにより、明確で直感的な制御が可能になります。
④観察窓：外側8mm、内側20mmの二層強化ガラスを使用したパノラマ大角度観察窓、高温耐性と透明度が高く、リアルタイムでチャンバー内部全体を鮮明に表示し、実験状況が一目瞭然です。
⑤ 棚：標準的なクロムメッキの耐食性メッシュ棚。さまざまな実験ニーズに柔軟に適応できるように、さまざまな材料と構造も用意されています。
⑥断熱層：外殻と作動室の間の空間は厚さ80mmの高純度セラミックファイバー綿（Al₂O₃）で満たされており、優れた断熱効果を提供し、熱損失を大幅に削減し、一定の温度安定性と高いエネルギー効率を確保します。
⑦ シールストリップ: 円周凸線構造と独自のアクティブ真空破壊シール技術を備えたカスタム成形シリコンゴムシールリングを装備しています。 圧力解放中に瞬時にチャネルが形成され、真空破壊効率が大幅に向上し、圧力解放後にドアを簡単に開くことができます。
⑧ 加熱管: カスタムメイドの超長寿命 SUS304 ステンレス鋼加熱管、オプションの棚/周囲加熱構造を備え、プロセスに正確に適合し、均一で効率的な加熱を保証します。
⑨ 入口/出口バルブ: 全銅製真空バルブ、操作が簡単で感度が高く、信頼性の高い密閉性を備えています。
① このシステムは、あらかじめ設定されたパラメータに従って、一定温度、高真空、不活性ガスパージのプログラムされたサイクルを自動的に実行します。液体注入のタイミングと圧力維持を正確に制御します。プロセスの完了時に音声信号と視覚信号を提供します。
② カラータッチスクリーン：標準カラースクリーンとタッチコントロールを装備し、設定温度、動作温度、恒温時間、故障情報などのパラメータを単一画面に表示します。応答速度や温度オーバーシュート抑制などの機能を備えたPIDパラメータの動的調整。
③ 過温度偏差保護、過速度保護、タッチスクリーンディスプレイを備えたマイコン P.I.D 温度コントローラーを使用し、タイミング機能を備えています。
④ 複数のタイミングモード: 1. タイミング単位は分と時間の間で自由に切り替えることができます。 2. 2 つのタイミング モード: 電源投入からのタイミングと一定温度に達した後のタイミング。
⑤安定性と信頼性の高い高精度抵抗シリコン真空センサーを搭載し、チャンバー内の真空度をリアルタイムで検出し、正確なデータサポートと正確なプロセスの保証を提供します。
⑥ 安定したデータ処理能力を備えたアップグレードされた音と光アラーム環境スキャンマイコンチップ。
⑦ 過熱警報、過熱加熱遮断、時限シャットダウン、電源投入復帰、パラメータメモリ、温度補正、セルフチューニングなどの機能を備えています。
⑧ 停電復帰機能：外部電源が突然失われ、その後復旧した場合、装置は元の設定プログラムに従って自動的に動作を再開します。
⑨ セルフチューニング：周囲温度の変化により温度制御精度が不正確になった場合、セルフチューニングを実行して温度をより正確にすることができます。
⑩ 複数のモードを自由に切り替え可能：固定値モード/タイミングモード切り替え。
| モデル | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| 制御システム | PLC産業用コンピュータ | ||
| 人間とコンピュータの相互作用 | 7インチカラータッチスクリーンコントローラー | ||
| 温度センサー | PT100プラチナ測温抵抗体 | ||
| 温度範囲 | 室温10～200℃ | ||
| 温度分解能 | 0.1℃ | ||
| 温度変動 | ±0.5℃以下 | ||
| タイマー範囲 | 0～9999分 | ||
| プログラムグループ | 100 グループ / グループあたり 100 セグメント | ||
| データセキュリティ | レベル 3 のアクセス制御、監査証跡 | ||
| インテリジェントなセキュリティ | 電源投入時セルフテスト、過熱アラームと加熱遮断、温度センサー偏差補正、画面ロック。 | ||
| タイミング方向 | カウントアップ/カウントダウン | ||
| タイミングユニット | 分/時間 | ||
| 真空計 | 抵抗シリコン真空計 | ||
| 極限真空 | ≤100Pa | ||
| 排気速度 | 2L/S | ||
| 電源電圧 | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| 定格電力 | 2KW | 3KW | 3.2KW |
| 内寸 | 410×370×345mm | 450×450×450mm | 500×500×600mm |
| 外形寸法 | 610×525×1285mm | 660×590×1470mm | 670×650×1630mm |
| ボリューム | 52L | 91L | 150L |
| 標準棚 | 2 | 2 | 3 |
| 総重量/正味重量 | 152/138KG | 185/165KG | 235/205KG |
| いいえ。 | 名前 | パラメータ | 参考写真 |
| 1 | スクロール真空ポンプ | ①オイルフリーポンプ | |
| 2 | オイルミストフィルター | ①真空ポンプからのオイルミストを濾過します |  |
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