クラス 100 クリーンルーム乾燥オーブンは、クラス 100 クリーンルーム ベーキング オーブンまたはクラス 100 クリーンルーム乾燥キャビネットとも呼ばれ、高温乾燥とクリーンルーム環境制御を統合する特別な装置です。 HEPA 高効率濾過システムと指向性エアフロー機構により、作業チャンバーは ISO 6 (以前のクラス 100) の清浄度基準を達成しています。この装置は垂直または水平の層流気流モードを採用しており、きれいな熱風が上部に取り付けられた FFU ユニットによってろ過され (ろ過効率 99.99% (0.3μm 粒子の場合))、作業面全体に均一に分配されます。 また、自動エアシャワー浄化モジュールも装備されており、ドア開放操作中に迅速に清浄度を回復します。温度制御範囲は50～300℃で、変動は±1℃以内です。精密製造分野における粒子汚染に敏感な乾燥プロセスに適しています。 主にエレクトロニクス、集積回路、COB黒接着剤の乾燥と硬化、ディスプレイ、チップ、LCD、CMOS、IS、および製薬業界で使用されます。高い環境清浄度が要求される高温試験にも使用できます。上記産業における製品の乾燥、熱処理、熱老化、高温試験、硬化に不可欠な装置です。
① 内蔵の高効率 HEPA/ULPA フィルターは、1μm の粒子に対して最大 99.99% の濾過効率を実現し、チャンバー内の継続的な ISO クラス 5 (クラス 100) の清浄度を確保し、精密プロセスの厳しい要件を満たします。
② 高度な流体力学設計と高性能ファンを採用し、チャンバー内の熱風の垂直層流循環を実現し、作業エリアの温度均一性を±1.5℃以下に保証します。
③ すべての内壁には丸みを帯びたコーナー、シームレス溶接、電解研磨処理が施されており、洗浄デッドゾーンと粒子蓄積のリスクを根本的に排除し、プロセスの純度を保証します。
④ カラータッチスクリーンとマルチセグメントプログラマブル PLC コントローラーを装備しており、加熱、定温、冷却曲線を正確に設定できるため、複雑なプロセスの完全な自動化とデータのトレーサビリティが可能になります。
⑤ コアチャンバーは通常、SUS304 ブラッシュドステンレス鋼で作られており、優れた高温耐性と耐食性を備えており、特に半導体やフォトレジストなどの繊細なプロセスに適しています。
⑥ 高温耐性の遠心ファンと精密なエアガイドシステムで構成されており、材料のあらゆる表面に迅速かつ均一な熱伝達を保証し、乾燥効率と均一性を大幅に向上させます。
⑦ シリコーンゴムまたはフッ素ゴム製の二重シールストリップを使用し、空気圧ロック装置を追加することで、内部プロセス雰囲気の安定性を確保しながら、外部の汚染空気の侵入を効果的に遮断します。
⑧ 過熱保護、過電流保護、ファンインターロック、漏電保護などの複数のハードウェアとソフトウェアの安全回路を統合し、機器や製品の長期安定動作に堅牢な保護を提供します。
⑨チャンバー内鏡面研磨と高温ベーキング除染処理により、高温運転時に装置から発生する揮発性有機化合物を大幅に低減します。
⑩ 高性能断熱材の使用と最適化されたヒーター配置と、PID 適応電力調整アルゴリズムの組み合わせにより、エネルギー消費を効果的に削減しながら、急速加熱と正確な温度制御を実現します。
⑪ オプションの窒素またはその他の不活性ガスインターフェースとチャンバー微陽圧制御システムを利用して、酸素や湿気に敏感なプロセス向けに優れた無酸素乾燥環境を作り出すことができます。
⑫ フィルター、ファン、ヒーターなどのコアモジュールは標準化されたクイックリリース構造を採用しており、日常のメンテナンス、清掃、スペアパーツの交換プロセスが大幅に簡素化され、ダウンタイムが削減されます。 ⑬ 独立したチャンバー環境と効率的な濾過システムは、材料の異なるバッチ間の相互汚染を効果的に防止し、特に多品種および小規模バッチの研究開発および生産に適しています。
⑭優れたクリーン度と温度制御性能により、半導体チップ製造、MEMSパッケージング、バイオ医薬品、精密光学などのハイテク産業の最先端分野に最適です。
⑮ 保証されたアフターサービス：全国ほとんどの地域をカバーする包括的なアフターサービスネットワークにより、ユーザーは安心して使用できます（注：ごく一部の遠隔地や村を除く）。
⑯技術サポート ソリューション: ビデオ、電話、オンライン ビデオ チュートリアルなどの多面的な技術指導を提供し、機器の性能と操作方法を直感的にデモンストレーションして、ユーザーが機器を迅速に習得できるようにします。
① アウターシェル材質：厳選された高品質冷間圧延鋼板（Q235）をCNC技術で精密成形。表面はリン酸塩処理および帯電防止粉体塗装で処理されており、堅牢なシェルとなっています。帯電防止、耐腐食性、耐傷性があり、長期にわたる品質を保証します。
②作業室：厚みのあるSUS304ステンレス鋼製で、高温安定性と耐食性に優れ、表面は滑らかで掃除が簡単です。
③コントロールパネル：温度や時間などの重要なデータを高精度でリアルタイムに表示するハイエンドカラースクリーンコントローラ。 インテリジェントな障害診断およびアラーム機能を備え、直感的なヒューマンマシンインタラクションと指先での完全な制御を実現します。
④ 循環システム：強力なタービンファンと科学的な気流設計を利用して高速熱風循環を実現し、作業室内の優れた温度均一性を確保し、局所的な過熱を防ぎ、乾燥効率と処理の一貫性を大幅に向上させます。
⑤ 過熱保護、過負荷保護などの複数の安全機構を備え、長期安定動作を保証し、研究での高頻度使用に適しています。
⑥ 断熱層：外殻と作業室の間の空間には厚さ75mmの高純度セラミックファイバー綿（Al₂O₃）が充填されており、優れた断熱効果を発揮し、熱損失を大幅に低減し、一定の温度を確保し、高いエネルギー効率を実現します。
⑦ ドアシール: 熱酸化老化に長期間耐えることができ、弾性とシールの完全性を維持し、熱損失を効果的に防止し、作業室の温度の安定性を確保します。
⑧ 加熱管：ステンレス鋼と高抵抗電熱合金線で作られ、熱効率は95％を超えます。 統合された設計は、優れた絶縁性、耐食性、耐酸化性を備え、高温、多湿、腐食性の産業環境に適しており、長寿命と安定した性能を保証します。
⑨ 棚板：表面硬化処理を施した高耐食性クロームメッキメッシュ棚板を標準装備し、耐酸化性、耐酸性、耐アルカリ性、安定した耐荷重を実現。は、ステンレス鋼、合金、テフロンなどのさまざまな材料と穴タイプの柔軟なカスタマイズをサポートし、製薬、エレクトロニクス、科学研究における要求の厳しい用途に完全に適合し、ハイエンドの乾燥プロセスに正確で信頼性の高い耐荷重ソリューションを提供します。
⑩ 大容量モデルの一部には、高性能静音ユニバーサルホイールが装備されており、柔軟な動きと安定した位置決めを組み合わせており、精密研究室やハイエンド産業環境に適しており、詳細な技術とユーザーフレンドリーなデザインを示しています。
① 高度な PID アルゴリズムとマルチセグメント プログラマブル コントローラーを採用し、複雑な加熱、恒温、冷却曲線を正確に設定し、自動的に実行できます。 プログラムモードと固定値モードを自由に切り替えることができ、プロセスの再現性と信頼性を確保します。
② 大型高解像度タッチスクリーンを搭載し、直感的なグラフィカル操作体験、すべての動作パラメータ、機器ステータス、およびリアルタイム曲線のリアルタイムの動的表示を提供し、操作プロセスを簡素化します。
③ 多点温度センサーが統合されており、気圧および露点（湿度）監視モジュールで拡張可能で、安定したプロセス条件を確保するためにチャンバーの内部環境の包括的なリアルタイム監視を提供します。
④ファンの動作や高効率フィルターの状態をリアルタイムに監視し、暖房システムと連動して安定した気流循環を確保し、微粒子汚染を防ぐクラス100の清浄度を維持します。
⑤ オプションのマスフローコントローラー (MFC) とマイクロ陽圧制御システムにより、窒素などの不活性ガスの流量とチャンバー内の圧力を正確に制御し、敏感なプロセスに保護雰囲気を提供します。
⑥ 大容量ストレージチップを内蔵し、すべてのプロセスパラメータ、曲線、アラームイベントを自動的に記録し、厳しい品質管理基準を満たすデータエクスポートと監査証跡をサポートします。
⑦ 独立した過熱保護装置、漏れ保護装置、ファン過負荷保護、ドアインターロックスイッチなどのハードウェア回路を統合し、ハードウェアとソフトウェアを組み合わせた多層の安全バリアを構築します。
⑧ EthernetおよびRS-485通信インターフェースを標準装備し、遠隔監視やデータ収集をサポートし、工場MESシステムとの統合を可能にし、スマートファクトリーの基盤を構築します。
⑨ マルチレベルのパスワード権限設定をサポートし、管理者権限とオペレータ権限を区別し、不正なパラメータ変更を効果的に防止し、コアプロセスレシピと装置操作のセキュリティを確保します。
⑩ 総合的なシステムセルフチェック機能を搭載しており、異常状態をリアルタイムに診断・正確に特定し、音や視覚による警報、故障情報の表示を行うことができ、メンテナンス効率が大幅に向上します。
| モデル | DEP-185HD | DEP-275HD | DEP-485HD | DEP-985HD |
| コントローラー | 統合PLC（100グループ/グループあたり100セグメント） | |||
| ヒューマン・マシン・インターフェース (HMI) | 7インチタッチスクリーン | |||
| 清浄度クラス | クラス100 | |||
| 温度範囲 | 室温10～250℃ | |||
| 温度均一性 | ±2.5%℃ | |||
| 温度変動 | ±1℃以下 | |||
| チャンバー粒子濃度 | 1um≤8320pc/m3 | |||
| タイマー範囲 | 0～9999分 | |||
| フィルター | H14 高温 HEPA フィルター | |||
| アクセス制御システム | 電磁ロック（インターロック） | |||
| フィルター Dimensions (mm) | 480×350×90 | |||
| 定格風量 | 650m3/h | |||
| チャンバー寸法 (mm) | 600×500×600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 1000*700*1400 |
| 外形寸法(mm) | 965x1240x1510 | 965x1240x1810 | 1290×965×1790 | 1950x1055x1790 |
| ボリューム | 180L | 270L | 480L | 980L |
| 電源 | AC220V/18A | 220V/20A | 380V/18A | 380V/30A |
| 定格電力 | 3.5KW | 4KW | 6KW | 9KW |
| 総重量 / 正味重量 | 300/255KG | 350/320KG | 490/450KG | 810/730KG |
| 標準棚 | 2 | |||
| 動作環境 | 0～45℃ | |||
| いいえ。 | 名前 | パラメータ | 参考写真 |
| 1 | マスフローコントローラー | ① 0～30L/min | |
| 2 | 独立した過熱リミッター | ① 温度オーバーシュートおよび暴走に対する二次保護 | |
| 3 | 内蔵プリンター | ①リアルタイム印刷 | |
| 4 | テストポート | ①材質：ステンレスベークライト | |
| 5 | 多点温度レコーダー | ① 6チャンネル | |
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上海登盛計器製造有限公司 は、研究開発、生産、販売、サービスを統合するハイテク企業です。当社は、オーブン、インキュベーター、工業炉、環境試験室などのハイエンド実験機器の製造を専門としています。
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